Pengaruh Tekanan Sputtering terhadap Sifat Magnetik Lapisan Tipis CoSm

dc.contributor.authorSaktioto
dc.contributor.authorErwin
dc.contributor.authorAnthoni, Tang
dc.contributor.authorDidana, Hera
dc.date.accessioned2013-04-17T04:46:37Z
dc.date.available2013-04-17T04:46:37Z
dc.date.issued2013-04-17
dc.description.abstractTelah dilakukan penelitian tentang morfologi khususnya kekerasan dari lapisan tipis campuran CoSm menggunakan Atomic Force Microscopy (AFM) dan hubungannya dengan sifat magnetik dari sampel (Cobalt-Samariimi) seperti interaksi antar partikel magnetik dengan menggunakan Alternating Gradient Force Magnetometry (AGFM). Sampel yang digunakan adalah campuran Cobalt-Samarium yang telah di buat di Salford University, United Kingdom dengan metode Sputtering. Daya sputtering untuk Cobalt yaitu 150 Watt sementara daya untuk Samarium 30 Watt, sedangkan tekanan sputtering divariasikan dari 4 x 10 mhar sampai 20 x 10 mbar. Hasil pengukuran kekasaran permukaan dari lapisan tipis CoSm dengan menggunakan A F M menunjukkan nilai kekasaran bertambah dengan bertambahnya tekanan sputtering yaitu 2,2 mn, 3,1 nm, 3,2 nm, 5,3 nm, 5,8 mn untuk variasi tekanan 4 x 10'mbar, 8 x 10mbar, 12 x 10mbar, 16 x 10mbar, 20 x 10 mbar. Pertambahan kekasaran ini disebabkan karena penambahan tekanan pada saat pembuatan sampel (Cobalt-Samarium) sehingga menyebabkan jumlah tumbukan yang terjadi antara atom Cobalt dan Samarium dengan atom argon sebagai gas sputtaring juga meningkat, karena atom Samarium lebih berat dari atom Cobalt maka atom Samarium lebih banyak sampai di substrat (silikon) dibandingkan atom Cobalt. Kondisi ini juga akan mempengaruhi sifat magnetik dari sampel (Cobalt-Samarium) khususnya nilai koersivitas akan menurun dengan bertambahnya tekanan sputtering. Nilai koersivitas dari lapisan tipis CoSm menurun dain 1821,1 Oe sampai 342,35 Oe ketika tekanan sputtering saat sampel dibuat diturunkan dari 4 x lO mbar sampai 20 x 10mbar.en_US
dc.identifier.otherwahyu sari yeni
dc.identifier.urihttp://repository.unri.ac.id:80/handle/123456789/2908
dc.language.isoenen_US
dc.subjectcoercivityen_US
dc.subjectmagnetisasien_US
dc.subjecttekananen_US
dc.subjectsputtering dan remanenceen_US
dc.titlePengaruh Tekanan Sputtering terhadap Sifat Magnetik Lapisan Tipis CoSmen_US
dc.typeUR e-Researchen_US

Files

Original bundle
Now showing 1 - 2 of 2
No Thumbnail Available
Name:
cover0001.PDF
Size:
502.47 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
cover
No Thumbnail Available
Name:
isi10001.PDF
Size:
3.35 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
isi
License bundle
Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
license.txt
Size:
1.71 KB
Format:
Item-specific license agreed upon to submission
Description: