Abstract:
Telah dilakukan penelitian tentang struktur kristalCr dengan menggunakan metode difraksi
elektron. Sampel yang digunakan dalam penelitian ini adalah lapisan tipis Cr yang dibuat dengan
menggunakn teknik Sputtering. Pola difraksi elektron dari sampel diperoleh dengan menggunakan
Transmssion Electron Microscopy (TEM). Untuk melakukan penentuan struktur kristal ini maka
telah dibuat sebuah program komputer dengan menggunakanMatlab (R2009b). Program tersebut
terdiri dari program menu dan program utama. Program menu digunakan untuk menginput data
yang selanjutnya akan digunakan oleh program utama untuk melakukan perhitungan jarak antar
bidang dalam kristal dan parameter kisi (ao). Dari hasil perhitungan ini diperoleh bahwa struktur
kristalCr adalah Body Centered Cubic (BCC) dengan bidang 110, 200, 211, 220, dan 310. Jarak
antar bidang dalam kristal Cr adalah 4,84 Å, 3,42 Å, 2,78 Å, 2,38 Å dan 2,14 Å. Kristal Cr
memiliki nilai parameter kisi (ao) hampir sama yaitu 6,7424 Å sampai 6,8478 Å. Indek reliabilitas
dalam penelitian ini adalah 2,57 %. Nilai ini menunjukkan bahwa hasil yang diperoleh sesuai
dengan yang diharapkan
