Pengaruh Tekanan Sputtering terhadap Sifat Magnetik Lapisan Tipis CoSm

Abstract

Telah dilakukan penelitian tentang morfologi khususnya kekerasan dari lapisan tipis campuran CoSm menggunakan Atomic Force Microscopy (AFM) dan hubungannya dengan sifat magnetik dari sampel (Cobalt-Samariimi) seperti interaksi antar partikel magnetik dengan menggunakan Alternating Gradient Force Magnetometry (AGFM). Sampel yang digunakan adalah campuran Cobalt-Samarium yang telah di buat di Salford University, United Kingdom dengan metode Sputtering. Daya sputtering untuk Cobalt yaitu 150 Watt sementara daya untuk Samarium 30 Watt, sedangkan tekanan sputtering divariasikan dari 4 x 10 mhar sampai 20 x 10 mbar. Hasil pengukuran kekasaran permukaan dari lapisan tipis CoSm dengan menggunakan A F M menunjukkan nilai kekasaran bertambah dengan bertambahnya tekanan sputtering yaitu 2,2 mn, 3,1 nm, 3,2 nm, 5,3 nm, 5,8 mn untuk variasi tekanan 4 x 10'mbar, 8 x 10mbar, 12 x 10mbar, 16 x 10mbar, 20 x 10 mbar. Pertambahan kekasaran ini disebabkan karena penambahan tekanan pada saat pembuatan sampel (Cobalt-Samarium) sehingga menyebabkan jumlah tumbukan yang terjadi antara atom Cobalt dan Samarium dengan atom argon sebagai gas sputtaring juga meningkat, karena atom Samarium lebih berat dari atom Cobalt maka atom Samarium lebih banyak sampai di substrat (silikon) dibandingkan atom Cobalt. Kondisi ini juga akan mempengaruhi sifat magnetik dari sampel (Cobalt-Samarium) khususnya nilai koersivitas akan menurun dengan bertambahnya tekanan sputtering. Nilai koersivitas dari lapisan tipis CoSm menurun dain 1821,1 Oe sampai 342,35 Oe ketika tekanan sputtering saat sampel dibuat diturunkan dari 4 x lO mbar sampai 20 x 10mbar.