Abstract:
Telah dilakukan penelitian tentang morfologi khususnya kekerasan dari lapisan tipis
campuran CoSm menggunakan Atomic Force Microscopy (AFM) dan hubungannya dengan
sifat magnetik dari sampel (Cobalt-Samariimi) seperti interaksi antar partikel magnetik
dengan menggunakan Alternating Gradient Force Magnetometry (AGFM). Sampel yang
digunakan adalah campuran Cobalt-Samarium yang telah di buat di Salford University,
United Kingdom dengan metode Sputtering. Daya sputtering untuk Cobalt yaitu 150 Watt
sementara daya untuk Samarium 30 Watt, sedangkan tekanan sputtering divariasikan dari 4 x
10 mhar sampai 20 x 10 mbar. Hasil pengukuran kekasaran permukaan dari lapisan tipis
CoSm dengan menggunakan A F M menunjukkan nilai kekasaran bertambah dengan
bertambahnya tekanan sputtering yaitu 2,2 mn, 3,1 nm, 3,2 nm, 5,3 nm, 5,8 mn untuk variasi
tekanan 4 x 10'mbar, 8 x 10mbar, 12 x 10mbar, 16 x 10mbar, 20 x 10 mbar.
Pertambahan kekasaran ini disebabkan karena penambahan tekanan pada saat pembuatan
sampel (Cobalt-Samarium) sehingga menyebabkan jumlah tumbukan yang terjadi antara
atom Cobalt dan Samarium dengan atom argon sebagai gas sputtaring juga meningkat,
karena atom Samarium lebih berat dari atom Cobalt maka atom Samarium lebih banyak
sampai di substrat (silikon) dibandingkan atom Cobalt. Kondisi ini juga akan mempengaruhi
sifat magnetik dari sampel (Cobalt-Samarium) khususnya nilai koersivitas akan menurun
dengan bertambahnya tekanan sputtering. Nilai koersivitas dari lapisan tipis CoSm menurun
dain 1821,1 Oe sampai 342,35 Oe ketika tekanan sputtering saat sampel dibuat diturunkan
dari 4 x lO mbar sampai 20 x 10mbar.
