PENENTUAN STRUKTUR KRISTAL LAPISAN TIPIS CHROMIUM DENGAN MENGGUNAKAN BANTUAN KOMPUTER

Abstract

Telah dilakukan penelitian tentang struktur kristalCr dengan menggunakan metode difraksi elektron. Sampel yang digunakan dalam penelitian ini adalah lapisan tipis Cr yang dibuat dengan menggunakn teknik Sputtering. Pola difraksi elektron dari sampel diperoleh dengan menggunakan Transmssion Electron Microscopy (TEM). Untuk melakukan penentuan struktur kristal ini maka telah dibuat sebuah program komputer dengan menggunakanMatlab (R2009b). Program tersebut terdiri dari program menu dan program utama. Program menu digunakan untuk menginput data yang selanjutnya akan digunakan oleh program utama untuk melakukan perhitungan jarak antar bidang dalam kristal dan parameter kisi (ao). Dari hasil perhitungan ini diperoleh bahwa struktur kristalCr adalah Body Centered Cubic (BCC) dengan bidang 110, 200, 211, 220, dan 310. Jarak antar bidang dalam kristal Cr adalah 4,84 Å, 3,42 Å, 2,78 Å, 2,38 Å dan 2,14 Å. Kristal Cr memiliki nilai parameter kisi (ao) hampir sama yaitu 6,7424 Å sampai 6,8478 Å. Indek reliabilitas dalam penelitian ini adalah 2,57 %. Nilai ini menunjukkan bahwa hasil yang diperoleh sesuai dengan yang diharapkan